Монография описывает планарную технологию изготовления сверхбольших интегральных схем, проектирование и применение прецизионного оптико-механического СТО оборудования для генерации топологии СБИС и ее формирования на полупроводниковых пластинах. В первой части издания раскрываются особенности формирования топологии как основного процесса в маршруте технологических процессов при производстве СБИС. Вторая часть посвящена СТО оборудованию, разрешение и точность которого определили все параметры современных СБИС и их дальнейшее развитие. Показана зависимость параметров СБИС от метрологической точности геометрических размеров топологии и ее элементов, которые обеспечивает СТО оборудование при последовательном формировании слоев микро- и наноэлектронных изделий.
Адресуется инженерам, специалистам предприятий и научных организаций, а также студентам, магистрантам и аспирантам, изучающим микро- и наноэлектронику.

Мартынов, В. В. Технология сверхбольших интегральных схем и оптико-механическое оборудование для микро- и наноэлектроники / В. В. Мартынов, Я. И. Точицкий. – Минск : Беларуская навука, 2018. – 467 с. –
ISBN 978-985-08-2323-6.