В монографии обобщены результаты исследований закономерностей осаждения тонких нанокомпозиционных покрытий различной природы, наносимых на кристаллы, рабочие поверхности технологической оснастки, используемой при производстве изделий микроэлектроники, и их физико-химические свойства. Содержится информация о технологии изготовления базовых элементов корпусов и выводных рамок БИС, приведены оптимальные технические решения микромонтажа кристаллов, конструктивные особенности используемого при этом технологического оборудования.
Предназначена для инженерно-технических и научных работников, специализирующихся в области материаловедения и технологии функциональных материалов, а также студентов, магистрантов и аспирантов радиотехнических и технологических специальностей.

Нанокомпозиционные покрытия и технологии в микроэлектронике / В. А. Емельянов [и др.]. – Минск : Беларуская навука, 2014. – 411 с. ISBN 978-985-08-1764-8.